探針是一種采用鎢或鎢合金制成的細(xì)長狀的鎢制品,具有耐高溫、硬度高、導(dǎo)電性好等優(yōu)點(diǎn),可充當(dāng)電極材料用于氬弧焊技術(shù)中,也可做儀器的探針使用,還可用作解剖針。
探針采用高純鎢、錸等原材料,特殊的生產(chǎn)工藝,確保鎢錸合金具有較高的均勻性與致密度,生產(chǎn)的探針在導(dǎo)電率、彈性模量、耐用性、力學(xué)強(qiáng)度等可滿足需求??筛鶕?jù)要求定制針尖形狀,有尖銳、平臺、圓弧等形狀,范圍從微米到納米級。
鎢探針主要用于半導(dǎo)體的終測試階段。用來連接芯片和測試板的鎢探針是影響接觸和電氣特性的一個(gè)重要因素。通俗來說,探測鎢針的存在是為了識別良品和不良品。鎢探針通常被安裝在探針卡或探針臺上。它被制成具有精細(xì)的尖形狀。這是為了讓它在與芯片接觸時(shí)不對芯片電極本身造成損傷。
半導(dǎo)體測試探針要求材料具有高純度和高精度,可以是采用錸鎢合金打造而成的合金探針,也可以是采用純鎢打造的純鎢探針。其中,錸鎢合金的接觸電阻比鎢稍高而抗疲勞性相似。相對于純鎢來說,錸鎢合金的晶格結(jié)構(gòu)更加緊密,因此錸鎢探針頂端的平面更加光滑。這意味著錸鎢探針的頂端被污染的可能性更小,更容易清潔,其接觸電阻也比鎢更加穩(wěn)定。
當(dāng)然,在半導(dǎo)體測試中,探針的其他參數(shù)也會影響到測試結(jié)果,如針尖的直徑與形狀、觸點(diǎn)壓力以及探針臺的平整度等。因此鎢探針也經(jīng)常采用高純鎢打造而成,且具有超細(xì)針尖,表面光滑無傷,光潔度能達(dá)到Ra0.25以上。