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簡(jiǎn)要描述:徠卡高真空鍍膜儀是一款多功能型高 真空鍍膜系統(tǒng),用于制備超薄,細(xì)顆粒的導(dǎo)電金屬膜和碳膜,以適用于FE-SEM和TEM超高分辨率分析所需的鍍膜要求。這一款全自動(dòng)臺(tái)式鍍膜儀,包含內(nèi)置式無(wú)油真空系統(tǒng)石英膜厚監(jiān)控系統(tǒng)和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)(旋轉(zhuǎn)為標(biāo)配,傾斜和高度馬達(dá)驅(qū)動(dòng)為選配。)
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徠卡高真空鍍膜儀
在電子顯微鏡領(lǐng)域,往往需要對(duì)樣品進(jìn)行表面鍍膜從而使樣品表面成像或圖像質(zhì)量得到改善。在樣品表面覆蓋一層導(dǎo)電的金屬薄膜可以消除荷電效應(yīng),降低電子束對(duì)樣品的熱損傷,并可以提高SEM對(duì)樣品進(jìn)行形貌觀察時(shí)所需的二次電子信號(hào)量。精細(xì)的碳膜具有電子束透明且導(dǎo)電的特性,因而常應(yīng)用于X射線微區(qū)元素分析,制備網(wǎng)格支持膜,以及制備適宜于TEM觀查的復(fù)型。需要怎樣的鍍膜技術(shù)取決于分辨率和應(yīng)用需求。Leica EM ACE鍍膜儀家族提供在各應(yīng)用領(lǐng)域所需的鍵膜解決方案。
Leica EM ACE600 是一款多功能型高真空鍍膜系統(tǒng),用于制備超薄,細(xì)顆粒的導(dǎo)電金屬膜和碳膜,以適用于FE-SEM和TEM超高分辨率分析所需的鍍膜要求。這一款全自動(dòng)臺(tái)式鍍膜儀,包含內(nèi)置式無(wú)油真空系統(tǒng)、石英膜厚監(jiān)控系統(tǒng)和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)(旋轉(zhuǎn)為標(biāo)配,傾斜和高度馬達(dá)驅(qū)動(dòng)為選配)。
徠卡高真空鍍膜儀可以配置如下鍍膜方式:
★★★ 金屬濺射鍍膜
★★★ 碳絲蒸發(fā)鍍膜
★★★ 碳棒蒸發(fā)鍍膜(帶有熱阻蒸發(fā)鍍膜選配件)
★★★ 電子束蒸發(fā)鍍膜
★★★ 輝光放電
★★★ 連接VCT樣品交換倉(cāng):
與徠卡EM VCT配套實(shí)現(xiàn)冷凍鍍膜,冷凍斷裂,雙復(fù)型,冷凍干燥和真空冷凍傳輸
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